Fotolitografia je proces používaný v mikrovýrobe na prenos geometrických vzorov na film alebo substrát. Geometrické tvary a vzory na polovodiči tvoria zložité štruktúry, ktoré umožňujú dotovacím látkam, elektrickým vlastnostiam a vodičom doplniť obvod a splniť technologický účel.
Aký je proces fotolitografie?
Fotolitografia, tiež nazývaná optická litografia alebo UV litografia, je proces používaný pri mikrovýrobe na vzorovanie dielov na tenkom filme alebo na objeme substrátu (nazývaného aj plátok). … V zložitých integrovaných obvodoch môže plátok CMOS prejsť fotolitografickým cyklom až 50-krát.
Aký je proces mikrovýroby?
Mikrovýroba je proces výroby miniatúrnych štruktúr mikrometrových mierok a menších. … Hlavnými konceptmi a princípmi mikrovýroby sú mikrolitografia, doping, tenké filmy, leptanie, lepenie a leštenie.
Čo je to litografický proces v polovodičoch?
Polovodičový litografický systém využíva proces, pri ktorom sú veľmi zložité obvodové vzory nakreslené na fotomaske vyrobenej z veľkej sklenenej dosky redukované pomocou ultra vysokovýkonných šošoviek a exponované na kremíkový substrát známy akooblátka. …
Čo je litografia vo výrobnom procese?
Litografia jeproces prenosu vzorov geometrických tvarov v maske na tenkú vrstvu materiálu citlivého na žiarenie (nazývaného odpor), ktorý pokrýva povrch polovodičovej doštičky. Obrázok 5.1 schematicky znázorňuje litografický proces používaný pri výrobe IC.
