Pri nevyváženom magnetrónovom naprašovaní plazma je tiež vtiahnutá do substrátu a ióny argónu tiež bombardujú rastúci tenký film. … Prítomnosť elektrónov okolo substrátu vedie k ionizácii atómov neutrálneho plynu a prenikaniu plazmy do tejto oblasti.
Prečo magnetrón prská?
Magnetrónové naprašovanie využíva uzavreté magnetické pole na zachytenie elektrónov, čím sa zvyšuje účinnosť počiatočného ionizačného procesu a vytvára sa plazma pri nižších tlakoch, čím sa znižuje začlenenie plynu do pozadia pri pestovaní straty filmu a energie v rozprášenom atóme v dôsledku zrážok plynov.
Čo možno použiť na magnetrónové naprašovanie?
5 Nanášanie magnetrónovým naprašovaním. Magnetrónové naprašovanie je vysokorýchlostná vákuová nanášacia technika, ktorá umožňuje nanášanie mnohých typov materiálov, vrátane kovov a keramiky, na toľko druhov substrátových materiálov pomocou špeciálne vytvoreného magnetického materiálu. pole aplikované na diódový rozprašovací terč.
Čo je nevyvážené magnetrónové rozprašovanie v uzavretom poli?
Systém nevyváženého magnetrónového naprašovania v uzavretom poli, vyvinutý spoločnosťou Teer Coatings Ltd, vytvára optimalizované podmienky nanášania umožňujúce nanášanie hustých, tvrdých povlakov s vynikajúcou priľnavosťou. Na dohodu CFUBMSIP sa vzťahujú patenty udelené spoločnosti Teer Coatings Ltd.
Čo je nevyvážený magnetrón?
Magnetróny sú bežne klasifikované ako „vyvážené“alebo „nevyvážené“. … Ak je nulový bod blízko cieľového povrchu, elektróny môžu ľahšie uniknúť a magnetrón je nevyvážený. Nevyvážené konštrukcie môžu spôsobiť silné bombardovanie tenkého filmu iónmi súčasne s ukladaním.