V prípade polovodičovej litografie (tiež nazývanej fotolitografia) sú naše kamene silicon doštičky a naše vzory sú napísané svetlocitlivým polymérom nazývaným fotorezist.
Čo myslíš pod pojmom fotolitografia?
Fotolitografia, tiež nazývaná optická litografia alebo UV litografia, je proces používaný v mikrovýrobe na vzorovanie dielov na tenkom filme alebo na objeme substrátu (nazývaného aj plátok). …Táto metóda dokáže vytvoriť extrémne malé vzory až do veľkosti niekoľkých desiatok nanometrov.
Prečo sa pri výrobe polovodičov používa litografia?
Fotolitografia je proces používaný pri mikrovýrobe na prenos geometrických vzorov na film alebo substrát. Geometrické tvary a vzory na polovodiči tvoria zložité štruktúry, ktoré umožňujú dotovacím látkam, elektrickým vlastnostiam a vodičom doplniť obvod a splniť technologický účel.
Aký je účel fotolitografie?
Fotolitografia je jednou z najdôležitejších a najjednoduchších metód mikrovýroby a používa sa na vytváranie detailných vzorov v materiáli. Pri tejto metóde môže byť tvar alebo vzor vyleptaný prostredníctvom selektívneho vystavenia polyméru citlivého na svetlo ultrafialovému svetlu.
Čo je to polovodičové litografické vybavenie?
Polovodičové litografické vybavenie sa používa vo fáze expozície polovodičového čipuvýrobný proces. … Polovodičové litografické vybavenie používa projekčnú šošovku na zmenšenie vzoru obvodu, ktorý je napísaný na originálnej platni nazývanej nitkový kríž, a na vystavenie vzoru na plátku.
