Fotolitografia sa bežne používa na výrobu počítačových čipov. Pri výrobe počítačových čipov je materiálom substrátu kremíkový plátok pokrytý rezistom. Tento proces umožňuje súčasne postaviť stovky čipov na jeden kremíkový plátok.
Ako sa robí fotolitografia?
Fotolitografia využíva tri základné procesné kroky na prenos vzoru z masky na plátok: natierať, vyvolávať, exponovať. Vzor sa prenesie do povrchovej vrstvy oblátky počas nasledujúceho procesu. V niektorých prípadoch možno vzor rezistu použiť aj na definovanie vzoru pre nanesený tenký film.
Prečo sa tomu hovorí fotolitografia?
Polovodičová litografia (fotolitografia) - Základný proces . Výroba integrovaného obvodu (IC) vyžaduje množstvo fyzikálnych a chemických procesov vykonávaných na polovodičovom (napr. kremíkovom) substráte. … Slovo litografia pochádza z gréckeho lithos, čo znamená kamene, a graphia, čo znamená písať.
Prečo je litografia dôležitá?
Litografia je proces prenosu vzorov geometrických tvarov v maske na tenkú vrstvu materiálu citlivého na žiarenie (nazývaného rezist), ktorý pokrýva povrch polovodičového plátku. Obrázok 5.1 schematicky znázorňuje litografický proces používaný pri výrobe IC.
Aká je najpoužívanejšia metóda v litografických metódach?
Optickélitografia je technika založená na fotónoch, ktorá pozostáva z premietania obrazu do fotocitlivej emulzie (fotorezistu) nanesenej na substrát, akým je napríklad kremíkový plátok. Je to najrozšírenejší proces litografie vo veľkoobjemovej výrobe nanoelektroniky v polovodičovom priemysle.
